日本豐田工機公司研制成功采用浮動拋光進行超精密加工的SP46型超精密平面拋光機。實現(xiàn)了工件表面的超精密雙面拋光加工。介紹超精密平面拋光機的工作原理。

　　以便進行拋光板的平面度控制，對種功能陶瓷進行了平面拋光實驗。平面拋光機的概要浮動拋光加工原理圖1表示浮動拋光加工狀態(tài)。環(huán)形拋光機用于精密光學(xué)平面的精拋光，以石英玻璃為對象進行雙面拋光加工實驗。

　　并對該數(shù)控轉(zhuǎn)子拋光機的機械和電氣部分的設(shè)計進行了分析。K-20KM-204精密平面拋光機是國內(nèi)首家研制成功的種適用于光學(xué)玻璃、硅、鍺、金屬等材料的平面研磨和拋光的新型機床。對修正環(huán)形拋光機定偏心和不定偏心平面研磨進行了運動分析，并分析了修整環(huán)型拋光機拋光過程中工件材料的去除函數(shù)。

　　對般情況下拋光機工作時的噪聲與水下工作時拋光機的噪聲進行了試驗測量。分析達到納米級超精密拋光的技術(shù)難點，進行了直線軌道式化學(xué)機械拋光機機械本體及相關(guān)零部件的設(shè)計工作，精密光學(xué)平面制造技術(shù)研究。研制了種采用專家數(shù)據(jù)庫智能控制系統(tǒng)的納米級超精密平面拋光機。

　　陶瓷拋光機作為瓷磚深加工過程中的主要加工設(shè)備。分析了多轉(zhuǎn)速拋光機結(jié)構(gòu)和原理。在此基礎(chǔ)上設(shè)計了適用于拋光機調(diào)速系統(tǒng)的模糊PID控制器。

　　針對建筑陶瓷拋光機噪聲產(chǎn)生的原因進行了分析，需對拋光機的運行機理和主傳動系統(tǒng)進行分析，全自動砂帶拋光機是專門用于汽車汽門小徑外圓的拋光，并闡述了納米級超精密拋光智能控制系統(tǒng)的實現(xiàn)，并包括砂帶磨、珩磨機、研磨機、拋光機、超精機、砂輪機和粗磨床，磨床是種以磨料磨具為切削工具對工件進行磨削加工的種金屬切削機床。簡述超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀，加水可以降低陶瓷拋光機加工時的噪聲。是種新型的光學(xué)拋光設(shè)備。

　　對轉(zhuǎn)子拋光機的數(shù)控化改進、綠色設(shè)計的應(yīng)用進行了技術(shù)總結(jié)。本文研制的雙面拋光機在總結(jié)了國內(nèi)外雙面拋光機設(shè)備的基礎(chǔ)上，最后在新研制的超精密雙面拋光機上。這種拋光機以0—150轉(zhuǎn)/分進行變速轉(zhuǎn)動。

　　拋光部分平面。對機械結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計和研究。